《微系统技术（连载一）─—微系统技术概况》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《微系统集成技术研究的动向》PDF+DOC 在微电子、微机械和微光学的基础上，集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术，是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。...
2. 《MEMS技术及应用》PDF+DOC 综述了制备 MEMS的几个重要步骤 ，即设计、材料选择、加工、封装以及测试 ，总结了MEMS研究及应用的最新进展 。...
3. 《多维力传感器的研究现状分析》PDF+DOC 本文根据传感器的敏感原理对多维力传感器进行分类讨论和对比分析，按照不同的测力维数，对近40年来国内外典型多维力传感器的弹性体结构设计进行回顾，并就其存在的技术难点作了归纳分析，最后指出设计多维力传感器的关键技术。...
4. 《压磁式测力传感器重复特性实验》PDF+DOC 为了研究坡莫合金压磁式测力传感器的重复特性，并比较不同频率下传感器特性的变化，在不同的预载荷、不同的测力范围，不同的励磁频率条件下对所设计的坡莫合金压磁传感器进行了重复性实验分析与研究。采用标准误差作为衡量传感器重复性的指标，由压力机配合测力环加载，通过交流电桥读取传感器的电感量。实验表明：最大载荷......
5. 《TE Connectivity推出紧凑型力传感器》PDF+DOC 自动化已成为我们的日常职能中越发重要的一部分。这种趋势不仅提高了传感器内容处理要求，而且还要求传感器可以提供更高的性能、更紧凑的尺寸和满足量产需求的最优化设计。全球连接与传感领域领军企业TE Connectivity (TE)优化紧凑型力传感器设计以提高性能，力传感器最基本的特性是灵敏度、稳定性、可......
6. 《石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析》PDF+DOC 石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析＊董永贵王朱惠忠冯冠平（清华大学精密仪器与机械学系北京１０００８４）０引言称重测力传感器是使用相当广泛的一种传感器。应变式力传感器因发展历史悠久，其制作、测量方式及后续电路等相关技术已相当成熟，因而使用广泛。..。...
7. 《硅微电子机械学进展》PDF+DOC 在介绍硅微电子机械学的同时，给出了硅微电子机械加工方法和微小器件实例。...
8. 《轧制力测量技术(二)》PDF+DOC 上文简单介绍了电阻应变式力传感器的工作原理，从中可以看出，弹性元件是传感器中将力P转换为应变ε的关键元件，电阻应变片是将应变ε变换为电阻值P变化的敏感元件。而整个测力传感器的结构型式取决于弹性元件受力变形方式。按弹性元件贴片部位变形方式划分，力传感器可分为拉压式(即承受拉压变...
9. 《硅基热流式微流量传感器研究》PDF+DOC 采用微电子技术和微机械加工技术 ，在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ，分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ，硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0～ 80 0 μL/min之间。...
10. 《基于MEMS的悬板式风速传感器的研制》PDF+DOC 研制了一种基于体微机械加工技术的悬板式风速传感器.传感器由可动极板和固定极板构成，通过测量传感器的输出电容变化量来检测风速.基于流体力学原理对传感器进行了理论分析.将制作的传感器封装在印刷电路板(PCB)上，并置于小型风洞内进行测试.测试结果说明所研制的传感器能够实现0~15.5 m/s范围内的风速......