作者：沈克强,童勤义,于梅芳 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》1993年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ1993030060 DOC编号：DOCGTDZ1993030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在介绍硅微电子机械学的同时，给出了硅微电子机械加工方法和微小器件实例。

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