作者：杨妹清 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1994年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1994070000 DOC编号：DOCGJDX1994070009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 与电子、信息、通信相关的硬件技术领域，为适应今后愈来愈多的需求，电子学和光子学及微机械技术的结合将成为重要的技术领域。人们把这一领域称之为机械光电子学领域，以推进从基础技术的系统应用这样的研究向着系统化方向发展。本文首先介绍微传感器、微致动器等机械光电子学器件的具体研究实例，然后阐述其定位和特征，进而就今后的机械光电子学器件、包括应用，将来向何方发展作以叙述。

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