作者： 单位：中国科学院文献情报中心;国家科技部高技术研究发展中心;中国高科技产业研究会 出版：《高科技与产业化》1994年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGKFC1994010070 DOC编号：DOCGKFC1994010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 扫描声波显微镜的应用扫描声波显微镜(sAM)的基本元件是压电薄膜传感器，可以用两种方式工作：反射和透射。应用范围包括：冶金、微电子、半导体元件、聚合物、多孔材料以及生物学领域。介绍

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