作者：丁扣宝,刘世洁,何兴理 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2012年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2012050020 DOC编号：DOCYDSG2012050029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 薄膜体声波谐振器(FBAR)是性能优良的压电换能器。通过在体硅刻蚀型FBAR背面密封空气的方法制作了密封空气型FBAR，研究了密封空气型FBAR用作温度传感器的可行性。实验结果表明，在20～100℃的温度范围内，密封空气型FBAR温度传感器的并联谐振频率随温度线性变化，且具有很好的稳定性与可靠性。

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