作者:孙承松,李云鹤,肖森永,周立军,孙勇 单位:沈阳工业大学 出版:《沈阳工业大学学报》1990年第02期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFSYGY1990020060 DOC编号:DOCSYGY1990020069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高分子湿度传感器的研制》PDF+DOC2005年第10期 陈翠萍,蒋波,谢光忠,蒋亚东 《电子恒湿控制器》PDF+DOC2000年第10期 沈大威,王力,孙慧明,沈佳晴 《饱和盐水溶液湿度固定点(1)——原理及制备》PDF+DOC1999年第11期 郝光宗,邢丽缘,梁强威 《一种湿度开关电路的设计》PDF+DOC1996年第10期 李本会,崔瑛 《薄膜型集成温——湿度传感器》PDF+DOC1990年第04期 李云鹏,孙承松,周立萍,吕力川 《湿度传感器和干燥工艺的节能》PDF+DOC1984年第03期 田中尚 ,郭秀芬 《多壁碳纳米管湿敏传感器的研究》PDF+DOC2005年第04期 陈文菊,郭淼,陈金霞,潘敏,陈裕泉 《基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计》PDF+DOC2003年第08期 颜黄苹,冯勇建,陈曦,卞剑涛 《湿度传感器温度补偿法的研究》PDF+DOC2007年第05期 杨红霞,曹新亮 《一种基于碳黑/聚四乙烯吡啶纳米复合物的新型湿度传感器》PDF+DOC2006年第S1期 洪利杰,杨慕杰,李扬
  • 本文介绍一种微粒子温—湿—气传感器,它利用硅平面工艺制成PN结测温元件和扩散电阻加热器;用高频溅射法制成微粒子和超微粒子复合氧化物湿敏气敏薄膜。完成了氧化物与硅等不同禁带宽度材料的兼容;硅平面工艺与薄膜工艺的兼容。传感器可在-40℃~+150℃范围测温,在室温下可测量环境相对湿度,对敏感膜加热到200℃~300℃可测酒精气体和一氧化碳气体。

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