《薄膜传感器的发展和展望》PDF+DOC
作者:张承芬
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1990年第02期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1990020150
DOC编号:DOCYBJS1990020159
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薄膜技术除应用在微电子器件、传感器和显示器件外,还能制做耐磨损膜或彩色膜。近年来,薄膜制造设备的增长率每年提高26%,薄膜应用情况按产值计算年增长率为15%,因此,研制薄膜传感器将
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