《新型微机电系统的光纤传感器设计及应用》PDF+DOC
作者:吴勇翀,刘艳峰
单位:中国电子科技集团公司第三十四研究所
出版:《光通信技术》2016年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGTXS2016060160
DOC编号:DOCGTXS2016060169
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设计了一种新型的微腔加速度光纤传感器,采用了Si基底上设计一圆柱形MIM波导的结构,通过检测光纤单直波导输出端口处波长的漂移量,实现对加速度的检测。理论计算和仿真结果验证得到:在加速度每增加10g的情况下,输出光谱图约向右漂移3nm,加速度与谐振波长漂移量基本呈线性关系;微纳光纤传感器的灵敏度较高,能够实现较好的加速度传感器。
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