作者：关辉,朱长纯 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1993年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1993030010 DOC编号：DOCYBJS1993030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文介绍了硅锥阵列场致发射力敏传感器的基本原理和结构以及硅锥工艺，并对这种传感器的力敏相关参数的电特性进行了初步测试，获得了较为理想的结果。

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