《真空微电子传感器进展》PDF+DOC
作者:刘君华
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1994年第05期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1994050000
DOC编号:DOCCGQJ1994050009
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概述了真空微电子传感器的现状,重点介绍了力敏、光敏、磁敏真空微电子传感器的工作原理及特点。
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