作者:袁璟 单位:东南大学 出版:《电子器件》1990年第04期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZQJ1990040090 DOC编号:DOCDZQJ1990040099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 利用原有的单面光刻设备,附加简单的真空吸附光刻附件,可以对图形尺寸较大的硅杯式力敏传感器进行双面光刻,实验表明利用这一装置研制的4×4触觉传感阵列,光刻精度满足要求。

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