《化学量传感器》PDF+DOC
作者:武世香,虞惇,王贵华
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1990年第05期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1990050140
DOC编号:DOCCGQJ1990050149
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四、pH-ISFET敏感膜制备 如前所述,离子敏器件敏感膜的质量直接影响着器件的响应灵敏度、阈值电压等一系列性能参数及其稳定性。因此,在电学性能合格的场效应管上制作高质量的敏感膜就成了ISFET制作的最关键工序之
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