作者:何惠珍,傅穗文 单位:广东工业大学 出版:《广东工业大学学报》1991年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGDGX1991030170 DOC编号:DOCGDGX1991030179 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《SnO_2超微粒薄膜的制备及气敏性研究》PDF+DOC1990年第04期 江跃宗,胡耀志,朱新奇 《La掺杂SnO_2材料的制备及其对乙醇敏感性能研究》PDF+DOC2017年第06期 杨洋,王传德,易洪鹏,杨吟野,罗胜耘,陈铖 《汽相沉积法SnO_2薄膜光谱透过率气敏特性的研究》PDF+DOC1998年第04期 冯金垣,越泽庭,黎达宇,杨日福 《CuO-SnO_2半导体陶瓷气敏机理研究》PDF+DOC1995年第01期 周晓华,徐毓龙,曹全喜 《超微粒SnO_2薄膜器件气敏特性的研究》PDF+DOC1992年第06期 宁建华,朱秉升 《对超低浓度甲烷具有高气敏性的自组装型SnO_2纳米棒气敏传感器》PDF+DOC2008年第06期 王冰 《SnO_2气敏材料研究进展》PDF+DOC2002年第02期 张晓芬 《介孔氧化铟纳米粒子的制备及其气敏性质》PDF+DOC2013年第03期 杨晓梅,马萌,赖小勇,李鹏,房俊卓,薛屏 《SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展》PDF+DOC2010年第06期 李建昌,韩小波,韩娜,巴德纯 《SnO_2纳米棒CH_4传感器的自组装研究》PDF+DOC2008年第07期 王冰,徐平
  • 本文介绍了半导体气敏传感器的气敏原因,并主要研究了SnO_2超微粒气敏膜的粒径大小与成膜工艺条件的关系。从对膜的透射电镜及X射线衍射分析的结果得出如下结论:在同样的溅射功率条件下,当气压升高时,膜的粒径减少;在同样的气压条件下,当溅射功率升高时,膜的粒径也减少。

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