作者:黄金彪,李斌,童勤义,周明 单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版:《Journal of Semiconductors》1989年第01期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTX1989010080 DOC编号:DOCBDTX1989010089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文介绍了利用恒定芯片温度原理工作的全集成式流量传感器,它由三部分组成.CMOS温度敏感级、CMOS运放和加热部分,这三部分由CMOS工艺集成在同一芯片上,不需附加工艺.本文在给出温度敏感级的理论分析和流量传感器工作原理的介绍后,报道了传感器用于气体流速(氮气)和液体(水)流速的测量结果,结果表明,该传感器具有如下特点:输出电平和灵敏度高(在传感器芯片温度T_c与流体温度了T_f之差为15℃、流速V_f为50cm/s的氮气条件下,传感器的输出可达500毫伏);响应时间快(在T_c-T_f=5℃、V_f=50cm/s时,响应时间为7秒);芯片尺寸小(2.02×1.62mm~2);成本低(因用普通工艺);用单5伏电源工作与微处理机自然接口等.对水流流速的试验还表明,该传感器特别适合于低流速水的测量。

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