作者：陈怀溥,王思杰,曹子祥 单位：西北大学 出版：《西北大学学报(自然科学版)》1989年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXBDZ1989030180 DOC编号：DOCXBDZ1989030189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文介绍了n型微晶硅应变计传感器的研制工作。从应变计的灵敏系数K=-30.5和灵敏系数的温度系数α_k=-0.08%℃~(-1)等主要参数可以看到：用微晶硅制作的应变计，灵敏系数高，温度特性和线性度好，是传感器领域里很有希望的一种新器件。

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