作者：沈桂芬,杨学昌,张久惠 单位：辽宁大学 出版：《辽宁大学学报(自然科学版)》1988年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLNDZ1988040070 DOC编号：DOCLNDZ1988040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构，分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微量程力敏器件的灵敏度作了分析。最后较详细地讨论了微压传感器研制中的关键技术——各向异性腐蚀技术。

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