《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC
作者:沈桂芬,付世,丁德宏,姚朋军,张宏庆,范军,吕品
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2003年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2003010090
DOC编号:DOCCGJS2003010099
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分析了硅压力传感器的线性与非线性 ,讨论了非线性产生的原因 ,并提出了硅压力传感器的优化设计方法
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