作者:江跃宗 单位:国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版:《功能材料》1989年第06期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGNCL1989060090 DOC编号:DOCGNCL1989060099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《气体传感器中的厚薄膜技术》PDF+DOC1992年第01期 易惠中 《SnO_2超微粒薄膜的制备及气敏性研究》PDF+DOC1990年第04期 江跃宗,胡耀志,朱新奇 《CNT-SnO_2复合材料的制备及甲醛气敏性的研究》PDF+DOC2016年第01期 房家骅,谭秋林,刘文怡 《二氧化锡在气敏材料中的应用》PDF+DOC1994年第09期 陆凡,陈诵英 《半导体气体传感器新近发展动态》PDF+DOC1990年第02期 吴雄 《超微粒氧化铁的气敏特性》PDF+DOC1989年第03期 曾桓兴,王弘,沈瑜生,向少云 《阵列式气体传感器的信号采集系统设计》PDF+DOC2020年第01期 成相伟,王磊,张文文 《无团聚纳米级SnO_2粉末及其气敏元件的制备》PDF+DOC1996年第05期 吴柏源,伍建新,江美玉,林广涌 《掺杂对MOCVD—SnO_2薄膜气敏性能的影响》PDF+DOC1996年第01期 赵世勇,刘俊福,张为灿,淳于宝珠 《气敏阵列及其应用》PDF+DOC2006年第04期 陈铿,史永刚
  • 文章综合了国内外近年来有关超微粒子气敏膜元件的大量资料,论述了 SnO_2超微粒子气敏膜的基本制造方法:射频溅射法(RFS)、真空蒸发法(VE)、等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),同时讨论了制备时的工艺参数对超微粒子膜的结构、电特性和敏感特性的影响。文章还示出了近年来国内外研究得比较多的集成化超微粒子气体传感器的基本构造及应用,最后提出了超微粒子气敏膜的研究发展方向。

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