《集成压阻压力传感器及其发展》PDF+DOC
作者:毛富民
,赵广波
单位:北京长城航空测控技术研究所
出版:《测控技术》1982年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFIKJS1982040010
DOC编号:DOCIKJS1982040019
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一、前言集成电子学十多年的迅速发展对现代社会各领域已产生深远的影响。以微型计算机为基础的测量控制系统的出现及其在各个领域中的广泛应用的同时,也促进了集成化传感器的飞跃发展。多年来,国内外都集中了较大精力将硅集成电路技术应用于传感器的设计与制造。集成压阻式压力传感器是目前航空测试技术中较为先进的一种传感器。其优越性不
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