《GGY一20型高性能固态压力传感器(续)》PDF+DOC
作者:于泓涛
单位:中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院
出版:《自动化仪表》1988年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDYB1988040080
DOC编号:DOCZDYB1988040089
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《高精度扩散硅压力传感器的温度补偿》PDF+DOC1997年第04期 张秀珍,杨魁,马子龙
《一种新型高精度温度补偿压力传感器》PDF+DOC1989年第05期 方凯,王荣
《液(气)压力测试技术》PDF+DOC1988年第02期 石玉祥
,祁冠方
《绝对式固态压力传感器》PDF+DOC1982年第01期 于泓涛
《如何提高X型固态压力传感器的温度补偿》PDF+DOC2002年第02期 罗晓红
《关于压力传感器零点热漂移的补偿分析》PDF+DOC2008年第26期 张宏涛,宰光军
《消除压力传感器温度漂移方法的探讨》PDF+DOC1990年第02期 陈爱民
《超小型压力传感器——半导体应变片的应用》PDF+DOC1973年第02期 TAKEWOCHIKU,ISEMIIGARASHI,黄美超
《发明与专利》PDF+DOC2012年第12期
《硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究》PDF+DOC2007年第Z1期 孙凤玲,于海超,王金文,方建雷,杨永刚
六、温度补偿固态压力传感器受温度影响较大,这是人所共知的,因此除了在制作工艺上采取必要的措施以外,对传感器进行外电路补偿是必不可少的。这里采用的是一种常规的方法,其原理如图6所示。图6中,R_1、R_2、R_3、R_4为应变电阻;R_TZ为零点温度补偿电阻;R_Z为零点配平电阻;R_TS为灵敏度温度补偿电阻;V为桥电压;V_p为输出。 1.零点的温度补偿传感器零点随温度变化主要是由应变电阻的不一致性和应变电阻温度系数的不一致性引起的。因此对其补偿是通过改变一个桥臂的电阻值及其温度系数来实现的。如果温度变化了△T,电桥零点输出有了△V_po的变化,此时,零点温度系数为
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