《声表面波气体检测器》PDF+DOC
作者:A.Bryant,M.Poirier,D.L.Lee,J.F.Vetelino,谢蔚文
单位:中国航天科技集团102所;中国航天科工集团公司二院203所
出版:《宇航计测技术》1984年第S1期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYHJJ1984S10170
DOC编号:DOCYHJJ1984S10179
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《36°YX-LiTaO_3/SiO_2结构Love波气体传感器研究》PDF+DOC2015年第03期 陈桂,王文,谢晓,何世堂
《采用钯镍薄膜的声表面波氢气传感器研究》PDF+DOC2019年第01期 梅盛超,王文,雷刚
《声表面波气体传感器的设计》PDF+DOC2000年第03期 邹小红,郭成海,史瑞雪
《新型声表面波气体传感器》PDF+DOC1995年第03期 刘国锋,陈明
《气体传感器的新发展》PDF+DOC1988年第05期 凌明芳
《文摘选辑》PDF+DOC1988年第04期
《文摘选辑》PDF+DOC1983年第01期
《乐甫波传感器及其应用进展》PDF+DOC2003年第12期 潘海峰,朱惠忠,冯冠平
《声表面波气体传感器技术》PDF+DOC2006年第02期 王利敏
《声表面传感器和磁弹性传感器对气体定量检测的比较研究》PDF+DOC2013年第05期 韩雪松,张朝
本文介绍一种利用声表面波的新型气体检测器的试验结果。声表面波(SAW)压电气体检测器由制作在一块压电衬底上的SAW双延迟线组成,每一延迟线都接有一振荡器。在一根延迟线振荡器的传播路径上涂以选择性吸收薄膜,而在另一传播路径上则不涂复而用作稳定参考。由吸附在涂有薄膜的延迟线上的气体所引起的质量负载或应力效应造成的相位延迟变化,导致相对于参考振荡器的频率偏移。这种频率偏移是与气体浓度成比例的。由于SAW能集中在薄膜附近,故检测器的灵敏度很高。另外,只要给SAW压电气体检测器涂以相应的选择性薄膜,就可以检测任何气体。为了证明这一点,现已制成一个利用三乙醇胺薄膜测量空气中二氧化硫(SO_2)的检测器,并且已经证明能够检测出浓度为10×;10~(-9)的二氧化硫。对灵敏度、线性、再现性、选择性和可靠性的研究,发现在大多数情况下比其它类型的气体检测器优越。本文讨论器件性能(例如选择性和随时间的稳定性)的主要缺点,以及改善的可能方法和进一步研究的方向。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。