作者：周宇,李粤,李维平,杜勉珂,邓然,邵文挺 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2020年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2020110270 DOC编号：DOCCGQJ2020110279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了降低激光位移传感器试制成本，并且更加方便地进行线性度测试，研发了一种激光位移传感器。使用ZEMAX软件对光学系统进行优化设计，得到合适的收光镜头，再选取光电元件，成功研制了一种工作距离为100 mm，量程为&#177；25 mm，线性度为&#177；0. 28%，分辨率为20μm的激光位移传感器。该传感器具有测量范围宽，线性度好，分辨率高的特点，满足了在工业场景中对精密测量的使用要求。

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