作者：孙彬,李兵 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2015年第05期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2015050050 DOC编号：DOCYQXB2015050059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 激光位移传感器具有非接触、测量范围大、测量效率高等优点，广泛应用于精密检测领域。然而，倾角误差是影响激光位移传感器测量精度的主要因素之一，为了提高激光位移传感器的测量精度，有必要对其进行分析研究，推导出能够在工程中应用的可量化的倾角误差补偿模型。首先从激光三角法测量原理开始，深入分析了激光光束的光路和光强损失的原因，然后根据光路的几何特征建立了物像方程，从倾角误差机理推导出一种可量化的误差模型，最后用激光干涉仪和正弦规在四坐标测量仪上。对激光位移传感器进行了倾角误差实验，把测量得到的数据经误差模型修正后，可以将传感器的测量精度控制在10μm以内。结果表明，所提出的倾角误差模型准确有效，在对复杂曲面的测量应用中，具有一定的使用和推广价值。

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