作者:杜帅航,王开松,张文惠,沈超,许宁 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2020年第11期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2020110060 DOC编号:DOCBDTQ2020110069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 采用溶剂热法制备了不同形貌的In2O3纳米材料,利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品进行了表征和分析,并研究了冰醋酸的添加量对In2O3传感器气敏性能的影响。研究结果表明:通过调控冰醋酸的添加量不仅可以改变In2O3纳米材料的晶相及形貌,还可以优化In2O3传感器对乙醇的气体传感性能。添加浓度为0.45 mol/L的冰醋酸辅助合成的In2O3传感器气敏性能最好,在250℃的工作温度下对体积分数为5×10-5乙醇的响应值高达141,并对体积分数低至5×10-6的乙醇的灵敏度高至7.7。同时,该材料对乙醇表现出良好的重复性和稳定性,这对长期检测乙醇具有重要的应用价值。

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