作者:荣伟彬,谢晖,孙立宁 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2006年第05期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2006050680 DOC编号:DOCCGJS2006050689 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS压力传感器批量组装设备的研制》PDF+DOC2006年第05期 荣伟彬,陈立国,孙立宁,谢晖 《MEMS微装配机器人系统的研究》PDF+DOC2005年第03期 谢晖,孙立宁,荣伟彬,陈立国 《MEMS器件自动引线键合系统》PDF+DOC2008年第02期 陈立国,杨治亮,马凌宇,孙立宁 《2.4GHz微功率无线MEMS传感器基本安全性能要求》PDF+DOC2016年第06期 陈得民 《基于MEMS传感器的海浪特征参数的提取》PDF+DOC 李俊,杨永立 《石油勘探MEMS传感器的研究》PDF+DOC2005年第01期 颜永安,牛德芳,孙正鼐 《基于微转换器的MEMS传感器研究平台》PDF+DOC2004年第S1期 于婷,周兆英,宋宇宁 《微摩擦测试仪力传感器的研究》PDF+DOC2002年第04期 黎海文,贾宏光,吴一辉,李锋 《微机电系统(MEMS)硅压阻式压力传感器分析研究》PDF+DOC2011年第06期 李烨,石鑫 《基于MEMS传感器的TPMS系统开发与实现》PDF+DOC2013年第04期 陆宇,沈立,陈建广,陈宏铭,程玉华
  • 手工操作限制了MEMS传感器的批量生产.为了降低生产成本,同时提高传感器的产品质量,研制了柔性自动阳极键合系统.该系统包括一系列功能模块,包括精密定位系统、显微视觉子系统、柔性微操作手、加热系统、键合夹具、物流系统以及其它的附属系统.通过模块重构和调整,可实现不同尺寸规格传感器的键合.基于显微视觉以及微装配系统的特性,提出了基于小波变换的自动调焦清晰度评价函数,同时提出了基于改进史密斯预估器的用于克服视觉延迟的伺服控制结构.集成一维微力传感器的微操作手可实现高精度和无损操作.为了实现自动化操作,开发了包括任务规划和实时控制功能的控制系统.试验验证了该系统的自动键合功能。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。