作者：冯庆,王新强,杨晓红,刘高斌 单位：国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版：《功能材料》2007年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCL2007050210 DOC编号：DOCGNCL2007050219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过溶胶凝胶法和旋涂法制备了单层和双层TiO2-KTaO3薄膜，并在不同的温度下退火1h，研究了该薄膜的湿敏传感特性。通过扫描电镜和X射线衍射研究了薄膜的形态特性，发现该薄膜具有纳米颗粒和毛细多孔结构。环境湿度变化从12%RH~97%RH的变化过程中，在500℃下退火的TiO2/KTaO3薄膜具有很高的灵敏度。对比单层薄膜，双层薄膜显示出有更大的电阻变化范围。还研究了TiO2/KTaO3薄膜的湿敏传感机理。

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