《剥离技术在GaN基紫外图像传感器中的应用》PDF+DOC
作者:叶嗣荣,肖灿,黄烈云,向勇军
单位:中国电子科技集团第四十四研究所
出版:《半导体光电》2005年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTG2005020080
DOC编号:DOCBDTG2005020089
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采用剥离技术,实现了GaN 基紫外探测器件与硅读出电路的倒焊对接,对提高GaN基紫外图像传感器的电学特性起到了重要的作用。介绍了剥离技术的原理,实验结果分析及应用。
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