作者：蔡颖岚 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2004年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2004020150 DOC编号：DOCBDTG2004020159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了用于平面及角度定位的四象限光电传感器，分析了其工作原理。利用该传感器构造了光刻机掩模板的平面定位系统。

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