作者：邓凯,夏善红,龚超,白强,陈绍凤 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2004年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2004040070 DOC编号：DOCNMJM2004040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于微机械技术的微型电场传感器.该器件由振动部分和感应电极组成，通过静电梳齿结构驱动，并利用溅射到衬底的栅状金电极作为工作电极.基于SOI衬底加工的设计流程能够简化悬浮结构的制备.由于器件运动中受滑膜阻尼作用，因此可在大气下测试和封装，能够节约成本.阐述了器件的工作原理、结构仿真以及其键合/减薄工艺流程.该器件具有小尺寸和批量生产的优势，有望在安全预警和航天器升空环境探测等方面得以 应用。

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