作者:何成奎 单位:农业部南京农业机械化研究所 出版:《农业开发与装备》2020年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFNJJY2020080230 DOC编号:DOCNJJY2020080239 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 微型化、集成化及智能化是当今科学技术的主要发展方向。随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)和微加工技术的发展,微型传感器也随之迅速发展。介绍了MEMS传感器概念及种类,并对其研究现状、应用领域进行了分析总结和介绍。最后,对MEMS传感器的一些发展趋势进行了论述和展望。

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