作者：耿笑炎,石玉,张怀武,尉旭波 单位：中国西南应用磁学研究所 出版：《磁性材料及器件》2004年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCXCQ2004060090 DOC编号：DOCCXCQ2004060099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微电子机械系统(MEMS)技术结合磁性材料的特性，会产生许多新的功能，并在很多领域得到应用，如信息技术、汽车工业、生物医学、航空以及科学仪器等。本文阐述了在微米尺寸下，磁性MEMS相对于静电和压电执行器，在强度、偏振、执行距离等方面具有的优势，并就磁性MEMS现有及潜在的应用加以概述。

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