《纳弧度分辨力角位移传感器及平均灵敏度标定》PDF+DOC
作者:马军山,杨永才,张世宙,清野慧
单位:中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司
出版:《光学技术》2003年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJS2003020110
DOC编号:DOCGXJS2003020119
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给出了基于六次临界反射棱镜的精密角位移传感器,采用的是差动式结构。实验结果表明,传感器灵敏度高,量程为500μrad,具有5nrad的分辨力。提出了适合于小量程角位移传感器的平均灵敏度的标定方法,可以快速标定平均灵敏度,降低标定过程中标定系统及传感器自身漂移对标定精度的影响。
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