作者:马军山,杨永才,张世宙,清野慧 单位:中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版:《光学技术》2003年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJS2003020110 DOC编号:DOCGXJS2003020119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 给出了基于六次临界反射棱镜的精密角位移传感器,采用的是差动式结构。实验结果表明,传感器灵敏度高,量程为500μrad,具有5nrad的分辨力。提出了适合于小量程角位移传感器的平均灵敏度的标定方法,可以快速标定平均灵敏度,降低标定过程中标定系统及传感器自身漂移对标定精度的影响。

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