作者:惠春,徐爱兰,徐毓龙 单位:国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版:《功能材料》2003年第02期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGNCL2003020050 DOC编号:DOCGNCL2003020059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一。本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器。

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