作者：韩泾鸿,张虹,顾丽波,徐磊,陈绍凤,王利,王蕾 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z11160 DOC编号：DOCBDTQ2003Z11169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片 ，芯片表面划分成 5&#215； 7个敏感单元 ，其中每个敏感区表面设置 4 0&#215； 4 0个硅尖阵列 ，芯片背面对应地形成光耦合阵列窗口。一个 5&#215； 7矩阵的红外LED作为光源控制的耦合到芯片背面的阵列窗口。给出了LAPS阵列芯片的扫描电镜照片和多种生化参数的光寻址测试结果 ，分析讨论了芯片厚度、LAPS曲线线性度对系统性能的影响

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