作者：谢琼,杨文,常爱民,康健 单位：陕西省石油化工研究设计院;陕西省化工学会;陕西延长石油（集团）有限责任公司 出版：《应用化工》2003年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSXHG2003060070 DOC编号：DOCSXHG2003060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器的研究》PDF+DOC2016年第01期 雷程,唐力程,毛海央,王岩,王玲,胡建东,欧文,熊继军 《新型聚酰亚胺湿度传感器的研制》PDF+DOC1997年第03期 刘海宗,郭作军 《集成硅颜色传感器》PDF+DOC1992年第01期 杨一平,庄庆德 《新型聚酰亚胺电容式湿度传感器》PDF+DOC1992年第01期 邹德恕,王东凤 《基于聚酰亚胺的电容式湿度传感元件的研制》PDF+DOC2009年第04期 周文和,刘倩,王良璧,任学昌,王良辰,常青 《基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器》PDF+DOC2004年第S2期 武宇,赵湛,方震,张博军 《聚酰亚胺湿敏电容的制备与性能研究》PDF+DOC2013年第01期 许梅芳,虞鑫海,吴一奇,王剑平,吉淳 《新型封装的光纤光栅温度传感器的研究》PDF+DOC2012年第04期 徐元哲,马淑婧,张颖,刘雪冬,陈红振 《CMOS工艺制备聚酰亚胺电容型湿度传感器及其性能》PDF+DOC2009年第12期 崔千红,杨子健,韦波,杨建红 《基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器》PDF+DOC2009年第10期 韦波,杨子健,王劲松,杨建红

    • 利用红外光谱、差热和热失重等分析手段，对聚酰胺酸(PA)的亚胺化工艺过程进行了研究，分析了聚酰亚胺薄膜样品在热演化过程中的分子结构变化，揭示了PA向聚酰亚胺(PI)转化的物理化学过程。实验发现，70～110℃之间各种溶剂挥发比较激烈，PA环化脱水转为PI的亚胺化反应在250℃已经基本完成。如果在150℃以下缓慢升温，使溶剂和化学反应生成物充分挥发，或在真空环境下进行亚胺化，有利于避免敏感膜出现气孔或开裂。

    📙 相关资料

    1. 《基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器的研究》PDF+DOC 针对现有的MEMS湿度传感器制备工艺复杂、灵敏度较低等问题，文中报道了一种基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器，该器件的感湿材料是利用等离子技术对聚酰亚胺进行表面修饰制备的，该方法简单且与CMOS工艺兼容。同时文中对同样结构基于亚胺化聚酰亚胺材料和纳米化聚酰亚胺材料的两种器件在不同湿度条件下的......
    2. 《新型聚酰亚胺湿度传感器的研制》PDF+DOC 本文介绍一种分子结构带有羧基-COOH的聚酰亚胺（PIC）湿敏电容及其传感器。PIC既具有PI材料的稳定性，又有良好的湿敏特性。其传感器已为电子野战气象仪、南极中山站等多项重要工程配套。...
    3. 《集成硅颜色传感器》PDF+DOC 介绍了一种新型的颜色传感器，其分光采用染色的聚酰亚胺滤色膜，它与传统的硅集成工艺兼容；敏感器件采用三个硅光二极管阵列。该传感器对入射光波长在380nm～650nm的范围内具有较高的灵敏度，且温漂小。...
    4. 《新型聚酰亚胺电容式湿度传感器》PDF+DOC 本文叙述了以聚酰亚胺为感湿膜的电容式湿度传感器的结构及制备工艺，研究了它的湿敏特性，概述了工作原理。...
    5. 《基于聚酰亚胺的电容式湿度传感元件的研制》PDF+DOC 以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钛和金为电极材料，通过氧化SiO2绝缘层、磁控溅射平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化，制作了平行板电容式湿度传感元件.介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理，测试了成品的湿敏特性，对测试结果进行了分析.结果表明本文研制的湿度传感器设计合理、性能稳定，可......
    6. 《基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器》PDF+DOC 微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量，降低成本，提高系统的可靠性，具有重要的科学意义。基于聚酰亚胺材料，利用MEMS技术，设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器。分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚胺薄膜对湿度、温度、压力进行检测，并且进行了理论计算，设计了加工工艺步骤，制......
    7. 《聚酰亚胺湿敏电容的制备与性能研究》PDF+DOC 利用一种自制的新型聚酰亚胺作为感湿材料，选择适当的亚胺化条件和电极制备方法制得湿敏电容，并对其进行了响应时间、灵敏度、温度系数、湿滞、非线性误差和湿度量程以及长期稳定性等一系列研究。各项研究结果表明：制得的湿敏电容综合性能良好，有望应用于湿度传感器领域。...
    8. 《新型封装的光纤光栅温度传感器的研究》PDF+DOC 提出了一种新型的光纤光栅(FBG，Fiber Bragg Grating)温度传感器封装技术。该传感器使用特殊的工艺将光纤光栅封装在涂覆有聚酰亚胺胶的凹槽基底材料上，基底材料也采用聚酰亚胺材料，该方法提高了传感器的灵敏度和可靠性。在40-120度的温度环境下，对这种新型光纤光栅温度传感器反射光谱反复......
    9. 《CMOS工艺制备聚酰亚胺电容型湿度传感器及其性能》PDF+DOC 以正胶光刻和干湿刻蚀方法，结合CMOS工艺制备了聚酰亚胺电容型湿度传感器。研究了硅基、钼–铝栅条状电极湿度传感器的结构及亚胺化温度对其性能的影响。结果表明：相对湿度(RH)为20%～80%发生准静态变化时，该传感器的湿度–电容曲线具有较好的线性度；外界相对湿度在12%和92%间发生阶跃变化时，响应时......
    10. 《基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器》PDF+DOC 设计了一种基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器，详细讲述了制作过程。通过引入平行板电容模型和水分子吸附模型研究了其工作机理，通过实验对其湿容特性、响应特性、湿滞等参数做了测试与分析。制作过程中的难点在于聚酰胺酸膜的亚胺化以及聚酰亚胺的光刻工艺。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。