《基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器》PDF+DOC

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3. 《多参量微纳集成传感器》PDF+DOC 为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求，设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器。振动传感器由一个惯性质量块、八个梁和边框组成，惯性质量块通过八个梁悬挂在边框上。为了减小集成传感器的面积，铂电阻温度传感器的形状为“蛇”形。对所设......
4. 《PI电容湿度传感器的研制》PDF+DOC 采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺（ＰＩ）为介质膜，以铬、金为电极的电容式湿度传感器．给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理．测试结果表明：在相对湿度ＲＨ为０～９６％范围内Ｃ～ＲＨ曲线线性度良好，灵敏度为ＲＨ变化１％，电容变化０．１５～０．１７ｐＦ，该种湿度传感器的ＲＨ长期稳定性为......
5. 《基于MEMS技术的集成温湿传感器研制》PDF+DOC 基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点，并可大大提高器件的一致性，可靠性，易形成批量生产能力。从理论上分析了利用热电原理测量空气相对湿度的可行性、集成温湿传感器的结构，以及具体测量方法。重点介绍了湿度部分的测量，证实所设计的集成传感器有良好性能。...
6. 《基于模型识别的高温微型压力传感器》PDF+DOC 高温测量是急需解决的测量问题之一。介绍一种将放大电路与信号传感器件分离的基于模型识别技术的高温微型电容式压力传感器。电阻电容信号滤波网络和信号的模型识别组成一个微型传感系统，在对滤波网络进行激励和模型识别后就可以得到变化的电容值。这种MEMS技术制作的硅玻璃键合的电容式压力传感器，可以在小于300℃......
7. 《基于聚酰亚胺材料的FBG湿度传感特性研究》PDF+DOC 提出了一种基于光纤布拉格光栅(FBG)侧面镀膜感湿的新型全光纤湿度计，选取具有高湿敏特性和线膨胀系数(9.432&#215；10-5%RH)的改性聚酰亚胺(PI)作为湿敏材料。通过在FBG侧面涂覆5种不同厚度的PI薄膜，检测厚度对传感器灵敏度和响应时间的影响，实验结果与理论计算符合很好，通过......
8. 《MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究》PDF+DOC 利用标准CMOS工艺结合MEMS后处理制得一种梳齿状结构的电容型湿度传感器。这种湿度传感器采用聚酰亚胺(PI)作为感湿介质。实验研究了聚酰亚胺薄膜的厚度和固化条件对湿度传感器敏感性能的影响，结果显示：聚酰亚胺薄膜厚度为2.4μm，采用阶梯升温加热法，并以250℃作为最高固化温度时，测量结果表明该湿度......
9. 《应用SU-8粘合技术的微型压力、温度和湿度集成传感器(英文)》PDF+DOC 压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点，在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术，本文设计和制作了一种尺寸为5.5mm&#215；3.5mm&#215；0.8mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该集成传感器由SU-8真空粘合技术制......
10. 《用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究》PDF+DOC 设计制作了一种基于MEMS技术，可应用于高空湿度探测的薄膜湿敏电容.电容采用三明治结构，聚酰亚胺薄膜作为湿度敏感层材料，金作为上、下电极.测试结果表明，在15%RH~95%RH的全量程范围内，湿敏电容的合格率≥80%，灵敏度约为0.29pF/%RH，线性误差&lt；1.5%RH，湿滞较小，响......