《双端固定音叉式硅微机械谐振器的研究与应用》PDF+DOC

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2. 《有限元法在谐振式硅微机械加速度计设计中的应用》PDF+DOC 谐振式硅微机械加速度计是新型高精度的微机电系统传感器.作者选用双端固定音叉作为谐振器，设计了一种硅微谐振式加速度计.设计中，使用了有限元分析软件进行了大量辅助分析，对传感器的工作情况进行了仿真.通过模拟和计算，预先估算出谐振器固有频率、应力分布情况以及传感器基本性能参数，这对传感器工艺流程设计及结构......
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4. 《双端音叉式硅微谐振器的电修调》PDF+DOC 双端音叉式硅微谐振器在制造过程中的误差会造成两根振梁谐振频率存在差异，这种差异严重降低了双端音叉式硅微谐振器的品质因数，进而造成传感器精度降低等问题。该文利用电容式传感器存在静电负刚度效应的原理，采用改变直流预载电压的电调整方法对振梁的刚度进行修调，从而精确地将两根振梁的谐振频率调整到一致。对这种方......
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