作者：王勇 单位：北京市海鹰科技情报研究所 出版：《飞航导弹》2011年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFHDD2011050250 DOC编号：DOCFHDD2011050259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 叙述了在微工程研究领域有代表性的微机电系统(microe-lectro mechanical system，MEMS)技术特点，介绍了MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS加速度计等典型的MEMS产品，阐述了MEMS基础理论研究进展以及国外对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计的研究和发展现状，分析了MEMS技术在飞航导弹等飞行器上应用优势。

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