作者：卞剑涛,程未,冯勇建,颜黄苹 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2003年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2003050230 DOC编号：DOCMINI2003050239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 通过对接触式电容压力传感器的改进，提出了一种基于MEMS技术的微变电容模型。为确定外加驱动电压与由此所引起的电容变化之间的非线性关系，提出了一种有效的基于有限元的方法，并设计了相应的加工工艺流程，说明了其工艺的可实现性。

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