作者:张栋,李永红 单位:上海仪器仪表研究所;上海市仪器仪表学会;中国仪器仪表学会汉字信息处理系统研究会 出版:《仪表技术》2007年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJI2007060250 DOC编号:DOCYBJI2007060259 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于MEMS加工技术压力传感器工艺研究》PDF+DOC2007年第04期 张栋,李永红 《石墨烯谐振式压力传感器敏感结构研究》PDF+DOC2019年第06期 樊尚春,张津,朱黎明 《基于SOI的E型结构MEMS高温压力传感器的设计》PDF+DOC2018年第05期 李鑫,梁庭,赵丹,姚宗,雷程,李旺旺 《读者信箱》PDF+DOC1983年第03期 《石油勘探MEMS Sensor生产过程中工艺优化》PDF+DOC2005年第04期 牛德芳,于国良,刘静,孙正鼐 《一种基于MEMS技术的微变电容》PDF+DOC2003年第05期 卞剑涛,程未,冯勇建,颜黄苹 《MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制》PDF+DOC2007年第Z1期 庞程,赵湛,杜利东 《一种MEMS压力传感器的工艺设计与仿真》PDF+DOC 王健,赵华强,李盛楠,曹正宗 《基于Pcap01的MEMS电容压力传感器测量电路设计》PDF+DOC2019年第03期 鲍丙豪,陈亮 《兰宝石—硅膜的压阻效应》PDF+DOC1987年第02期 黄鸿雁
  • 介绍一种压阻式压力传感器的设计原理和加工技术,设计出了敏感电路和硅膜结构,根据所设计压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法进行加工研究并给出了加工模型。

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