作者：周兆英,杨兴 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2003年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2003020000 DOC编号：DOCYBJS2003020009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统 (MEMS)和纳机电系统 (NEMS)是微米 /纳米技术的重要组成部分。MEMS已在产业化道路上发展 ，NEMS还处于基础研究阶段。分析了微 /纳机电系统的发展特点 ，简要地介绍了典型的MEMS和NEMS器件及系统后 ，椭论了MEMS和NEMS发展中的几个问蹄以及它们的发展前景

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