作者：张兴 单位：中国电子信息产业发展院 出版：《世界电子元器件》2002年第06期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSDYQ2002060290 DOC编号：DOCSDYQ2002060299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微型化革命，以加工微米/纳米结构和系统为目的的微米/纳米技术(Micro/Nano Technology)在此背景下应运而生。一方面人们利用物理化学方法将原子和分子组装起来，形成具有一定功能的微米/纳米结构；另一方面人们利用精细加工手段加工出微米/纳米级结构。前者导致了纳米生物学、纳米化学等边缘学科的产生，后者则在小型机械制造领域开始了一场新的革命，导致了微机电系统(MEMS)的诞生。

    📙 相关资料

    1. 《微机电系统——二十一世纪的新兴产业》PDF+DOC 本文介绍了纳米技术和微机电系统的定义，精微细加工的种类，并对微机电系统的发展现状和应用前景作了论述。...
    2. 《微/纳机电系统》PDF+DOC 微机电系统 (MEMS)和纳机电系统 (NEMS)是微米 /纳米技术的重要组成部分。MEMS已在产业化道路上发展 ，NEMS还处于基础研究阶段。分析了微 /纳机电系统的发展特点 ，简要地介绍了典型的MEMS和NEMS器件及系统后 ，椭论了MEMS和NEMS发展中的几个问蹄以及它们的发展前景...
    3. 《酶/纳米团簇的组装与功能器件》PDF+DOC 纳米科技是20世纪晚期迅速崛起的高科技领域之一。纳米粒子展现出迷人的电学、光学、生物学性质和巨大的应用潜力，而且材料来源方便、广泛。这些尺寸的粒子是制备纳米工程表面和表面功能化纳米结构的理想对象，因而激起了众多学科广大学者的强烈兴趣。它由发源的材料科学、物理科学向化学、生命、环境科学和医药卫生领域渗......
    4. 《微型机电系统技术及其21世纪应用展望》PDF+DOC 当前人们在向宏观世界不断进军的同时，也在向微观世界发起冲击。人们不断地致力于微型装置的研究制造与开发利用。微米／纳米技术（micro／nanotechnology）以及在此基础上发展起来的微型机电系统（micro－electro-mechanicalsystems，MEMS）制造技术，将有可能成为2......
    5. 《面向21世纪的军民两用技术微米／纳米技术》PDF+DOC —微米／纳米技术是本世纪出现且发展迅猛的一项高新技术。本文在论述了微型机电系统和专用集成微型仪器的制造工艺和发展动态的基础上，进一步论述了小型、微型和“纳米”卫星概念和应用前景。本文还对纳米技术的实质及其产生的革命性影响进行了讨论。微米／纳米技术的应用前景充分显示了其鲜明的军民两用性，将深刻地影响国......
    6. 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用，并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。...
    7. 《纳米技术与兵器》PDF+DOC 军事家预测，纳米技术将会改变战争的面貌，引发新的兵器技术革命。目前，纳米技术在兵器领域的研究和应用主要集中在微机电系统。所谓微机电系统是指总尺寸在几厘米以下乃至更小的微型装置，是利用那...
    8. 《微小型武器发展动向》PDF+DOC 微小型武器是20世纪90年代美国等先进工业国家开始发展的新概念武器，它不但在基础理论、设计、制造与计量测试技术等方面是革命性创新，而且对21世纪战争的模式将会带来变革性的影响。 基于微米、纳米、微机电系统技术发展起来的微小型武器技术的内涵是：根据微小型武器特殊功能和特性，应用微机电系统(MEMS)、......
    9. 《纳米材料在生物检测中的应用》PDF+DOC 纳米颗粒是生物医学中研究最多、应用最广的纳米材料，有许多独特的性质。综述了近年来国际上以纳米颗粒为基础的纳米技术在生物传感器及生物检测中的研究成果和进展，介绍了纳米颗粒的制备方法及其在纳米生物传感器和纳米生物芯片中的应用，结合纳米病原微生物检测介绍了有关免疫传感器检测细菌的研究成果，并对该领域的应用......
    10. 《纳米技术在生物传感器及检测中的应用》PDF+DOC 纳米生物技术是纳米技术与生物技术交叉渗透形成的新技术，是纳米技术的重要组成部分，也是将来生物医学领域中的一个重要发展方向。纳米颗粒是生物医学中研究最多、应用最广的纳米材料，有着许多独特的性质。本文叙述了近年来国际上以纳米颗粒为基础的纳米技术在生物传感器及生物检测中的研究成果和进展，介绍了纳米颗粒的制......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。