《气压和流速对微热板气体传感器的影响》PDF+DOC

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5. 《微热板的热测试和热分析》PDF+DOC 随着近代高新技术的发展，要求各种探测器微型化。微加工技术的进步，使得微器件制造有了可能，于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能，为此微热板的热测试和热分析成为微传感器的研制、使用和评价所必不可少的工作。 本文件......
6. 《微气体传感器微热板电极结构的设计与优化》PDF+DOC 设计了一种微气体传感器微热板的电极结构，利用有限元分析工具ANSYS对该微热板的温度场和磁场分布进行了分析和优化，研究了微热板加热电极的宽度和间距对温度分布的影响，并对测量电极的结构进行了优化。结果表明：当微热板加热电极的宽度和间距分别为20μm和10μm且测量电极为无叉指结构时，微热板中心区域能获......
7. 《新型气体传感器微热板的设计与优化》PDF+DOC 设计了一种新型气体传感器的微热板结构，利用铂作为电极材料，SiO2作为隔热层和绝缘层。通过有限元分析工具分析了基底中各材料厚度不同时微热板的温度分布，并对测量电极的结构进行了优化。当微热板的基底中前SiO2层、中间Si层、后SiO2层的厚度分别为50μm、150μm、100μm且测量电极不放叉指时，......
8. 《一种加热丝埋入式微热板的研制》PDF+DOC 在传统“三明治”夹层结构的基础上，微热板将加热丝埋入到基底绝缘层中，通过周围绝缘层介质对加热丝的约束作用，减小了Pt加热丝与基底以及覆盖层热膨胀系数失配所产生的热应力对器件稳定性造成的影响，从而提高微热板在高温工作时的稳定性。主要加工工艺流程为：利用热氧化方法和LPCVD在4 in硅片两侧制备SiO......
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10. 《融入我们生活的微传感器》PDF+DOC 万亿传感器社会——“传感器之父”亚努什&#183；布里泽克提出了一项雄心勃勃的计划：打造一个“万亿传感器社会”，即世界各国的设备及系统相关企业将建立起一个每年使用1万亿个传感器的社会。智能时代，微传感器融入了我们生活的方方面面，智能汽车、智能家居、智能穿戴设备，微传感器如同庞大神经网络，而传......