作者：顾毓沁,张荣海,朱德忠,孙晓毅,阎桂珍,唐祯安,Philip C.H. Chan,Johnny K.O. Sin,I-Ming Shing 单位：中国工程热物理学会;中国科学院工程热物理研究所 出版：《工程热物理学报》2001年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGCRB2001020260 DOC编号：DOCGCRB2001020269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 随着近代高新技术的发展，要求各种探测器微型化。微加工技术的进步，使得微器件制造有了可能，于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能，为此微热板的热测试和热分析成为微传感器的研制、使用和评价所必不可少的工作。 本文件对研制中的气体传感器的微热板，用红外热成像技术进行热测试和分析，获得气体传感器微热板的微小区域的温度分布，为传感器的研制提供了可靠的依据。

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