作者:迟霄,张晓波,刘丽,何越,王连元 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2014年第07期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2014070040 DOC编号:DOCYBJS2014070049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC2015年第04期 刘丽丽,何越,刘震,王连元,刘丽,苏畅,薄小庆,张晓波 《微气体传感器结构设计和优化》PDF+DOC2013年第01期 张晓波,陕皓,刘丽,王连元,李守春,王国光 《微气体传感器微热板电极结构的设计与优化》PDF+DOC2014年第09期 刘丽丽,王连元,郭欣,刘震,刘丽 《基于ZnO的微气体传感器的设计与优化》PDF+DOC2017年第06期 官修龙,刘丽,刘震,何越,王连元 《新型共平面微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC2017年第09期 官修龙,刘丽,何越,王连元 《新型微气体传感器的ANSYS分析与优化》PDF+DOC2016年第02期 刘丽丽,李守春,王连元,何越,刘丽,王雪松,苏畅 《气压和流速对微热板气体传感器的影响》PDF+DOC2002年第S1期 黄正兴,唐祯安,申爽,陈正豪 《微热板的热测试和热分析》PDF+DOC2001年第02期 顾毓沁,张荣海,朱德忠,孙晓毅,阎桂珍,唐祯安,Philip C.H. Chan,Johnny K.O. Sin,I-Ming Shing 《ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究》PDF+DOC2015年第02期 刘航,李洋 《一种加热丝埋入式微热板的研制》PDF+DOC2013年第10期 丁如义,张欢,孙全涛,王海容,陈磊
  • 设计了一种新型气体传感器的微热板结构,利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层和绝缘层。通过有限元分析工具分析了基底中各材料厚度不同时微热板的温度分布,并对测量电极的结构进行了优化。当微热板的基底中前SiO2层、中间Si层、后SiO2层的厚度分别为50μm、150μm、100μm且测量电极不放叉指时,微热板中心温度最高且能够获得最佳温度分布。这种新型的微热板结构有助于提高传感器的整体性能。

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