作者:周倜,李格,李金华 单位:常州大学 出版:《常州大学学报(自然科学版)》2002年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJSSY2002040150 DOC编号:DOCJSSY2002040159 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《E型硅杯结构偏差对膜片应力分布的影响》PDF+DOC1998年第01期 丁艳萍,吴坚民,郑殿忠 《BESOI压力传感器的研制》PDF+DOC1995年第02期 李金华,孙慷,蒋美萍,冒建军,焦继伟,陆德仁 《碳化硅压力传感器结构仿真及优化》PDF+DOC 李帅,王建平 《耐高温压力传感器的设计研究》PDF+DOC2008年第10期 陈雨,杨继昌,丁建宁 《厚膜压力传感器的研究》PDF+DOC1997年第05期 潘晓光,汤清华 《微电子机械系统在硅谷的发展及其对压力传感器技术的影响》PDF+DOC1997年第03期 Janusz Bryzek 《边界元法用于压力传感器设计优化》PDF+DOC1988年第04期 周斌,何野,魏同立 《基于MATLAB实现传感器静态标定》PDF+DOC2005年第06期 李义军,谭静,刘珍,包晓艳 《智能缆索传感方案优化》PDF+DOC2011年第01期 吴俊,陈伟民,尹德强,章鹏,刘立 《飞行器板结构中Lamb波解析建模研究》PDF+DOC2010年第03期 张逍越,袁慎芳,邱雷
  • 从弹性力学的板壳理论出发,对不同参数的凸型板结构形变膜受压后的应力分布作了近似计算,为高线性度SOI压力传感器的芯片设计提供了理论指导。用BESOI技术研制的凸型板结构集成压力传感器的非线性度达0 09%,样品灵敏度的实测值与应力计算理论值的差别约17%。

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