《碳化硅压力传感器结构仿真及优化》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《基于ANSYS仿真的阳极键合薄膜形变量的研究》PDF+DOC 阐述了一种利用阳极键合技术加工的光纤法布里-珀罗MEMS压力传感器的工作原理，建立了考虑阳极键合产生的热应力作用下边界固支的圆膜受外加压力的薄膜形变量公式。利用有限元分析软件ANSYS对与玻璃环键合后实际结构中的膜片在压力作用下的挠度变化进行模拟，采用麦夸特(Levenberg-Marquardt)......
2. 《压力传感器的应力计算》PDF+DOC 从弹性力学的板壳理论出发，对不同参数的凸型板结构形变膜受压后的应力分布作了近似计算，为高线性度SOI压力传感器的芯片设计提供了理论指导。用BESOI技术研制的凸型板结构集成压力传感器的非线性度达0 09%，样品灵敏度的实测值与应力计算理论值的差别约17%。...
3. 《康铜薄膜压力传感器的有限元分析》PDF+DOC 为研究康铜薄膜的压阻特性，建立了一个压阻式压力传感器模型。康铜薄膜压力传感器采用悬臂梁结构作为弹性元件，用有限元分析软件ANSYS12.0对传感器的静态特性进行了仿真分析。通过改变载荷大小研究了传感器的线性度，发现传感器线性度良好、灵敏度较高；分析了康铜薄膜层位置和薄膜厚度对传感器输出特性的影响，得......
4. 《MEMS高温压力传感器研究与进展》PDF+DOC MEMS高温压力传感器随着新型半导体材料和加工工艺的不断深入研究而迅速发展，近年来这一研究方向涌现出不少研究成果。对国内外具有主导影响的多晶硅、SOI、SOS、金刚石薄膜、SiC、电容式、声表面波、光纤式等几类耐高温压力传感器的研究进展、技术关键及应用情况等做回顾论述，并针对各自的主要优缺点进行对比......
5. 《一种软性薄膜压力传感器》PDF+DOC 申请号：201710528899.8【公开号】CN107340082A【公开日】2017.11.10【分类号】G01L1/16【申请日】2017.07.01【申请人】苏州能斯达电子科技有限公司【发明人】熊作平；张珽；谷文；井华；王冉【摘要】本发明涉及一种软性薄膜压力传感器，可通过新型纳米压敏材料的电......
6. 《PVF_2压电特性的研究》PDF+DOC 本文利用爆炸激波管研完了厚度为110μm的聚偏氟乙烯(PVF_2)在动载荷作用下的压电特性。采用石英传感器技术确定加载压力。研究表明，这种PVF_2具有压电特性强，重复性好的优点，它可以制成激波管实验研究所用的压力传感器。研究还表明，PVF_2的压电灵敏度与PVF_2的厚度近似成线性关系。...
7. 《剪辐式压力传感器设计原理及有限元应力分析》PDF+DOC 本文分析了近年发展的一种矮外形剪辐式压力传感器的力学原理，对确定传感器结构尺寸的方法作了进一步研究。为提高其设计精度，提出了一个有限元分析的设计模型，并以测轧制压力用的传感器作实例，对计算结果进行了分析。...
8. 《YCW-A微型脈动压力传感器通过技术鑑定》PDF+DOC 由水利部、交通部、南京水科所和电力部南京电力自动化设备厂合作研制成功的ycw-A微型脉动压力传感器，经过一年的试用考验，于1981年12月23日在南京通过了产品技术(钅监)定。南京水科所和南京电力自动化设备厂研制和生产的ycw-A微型脉动压力传感器，是利用半导体材料的压阻效应，采用集成电路硅平...
9. 《光子晶体压力传感器研究》PDF+DOC 介绍了一种新型光子晶体压力传感器，利用压力使光子晶体带隙的变化特性制作压力传感器，提出了通过测量透射光的变化来测量压力的检测方法。结果表明：传感器的测量范围和灵敏度与构成光子晶体的材料特性有关，材料弹性模量小时，灵敏度高；2种材料的弹性模量和泊松比相差大时，测量范围小。该传感器体积小、重量轻。...
10. 《应变式油膜压力测量传感器特性研究》PDF+DOC 对用于滑动轴承油膜压力测量的应变式压力传感器进行了改进设计，利用有限元分析软件ANSYS对其进行了分析，包括静力分析和模态分析。通过静力分析得到两个方向的应变的大小，并且通过比较决定应变片粘贴的方向，以获得较大的灵敏度。对边界最薄处进行了强度校核，画出了传感器的灵敏度曲线，通过模态分析得到传感器的前......