作者：任豪,章佩娴 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2002年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2002080030 DOC编号：DOCCGQJ2002080039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过对阳极氧化多孔Al2 O3 薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究 ，将阳极氧化参数对多孔Al2 O3 薄膜的结构和形态的影响与多孔Al2 O3 薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系起来进行分析 ，为优化制备工艺参数提供更充分的实验数据 ，使新型多孔Al2 O3 薄膜湿度传感器具有更好的感湿特性。

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