作者：秦明,黄庆安 单位：东南大学 出版：《东南大学学报(自然科学版)》2002年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDNDX2002040050 DOC编号：DOCDNDX2002040059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的CMOS兼容热风速计 .该风速计的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造 ，工艺与CMOS兼容 .对横向多晶硅二极管的温度敏感特性调查发现 ，其正向电流随温度增加几乎呈线性增加 ，显示该多晶硅二极管具有负的电压温度系数 .其值约为 - 1 .8mV/K ，非常接近单晶硅上PN结的电压温度系数 - 2mV/K .采用CMOS工艺试制了由 8个横向多晶硅二极管组成的风速计结构 ，并实验测量了其风速和风向敏感特性

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