作者:武金亮,周琦,高晓宇,胡梦晴,秦东林 单位:中国科技信息研究所 出版:《通讯世界》2015年第04期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFTXSJ2015041380 DOC编号:DOCTXSJ2015041389 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 随着我国科技的不断进步,MEMS传感发展迅猛,在各个领域内得到广泛应用。再次情况下,本文阐述了MEMS技术的特点,分析了其在各领域内的具体应用情况,并对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。

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